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　　MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))是一種基于CMOS工藝的集成技術(shù)。它將傳感器/微處理器/信號(hào)處理與控制集于一體，有效縮小了系統(tǒng)的體積，是一種先進(jìn)的加工技術(shù)。

　　MEMS測(cè)試難點(diǎn)

　　1.電容是MEMS的必測(cè)項(xiàng)。電容式微傳感器是MEMS系統(tǒng)中常用的傳感器，它負(fù)責(zé)接收外界的信號(hào)并轉(zhuǎn)換為電學(xué)信號(hào)。這個(gè)電容值很小，一般為pF量級(jí)。測(cè)試設(shè)備所能施加的交流頻率和電容測(cè)量的精度是需要考慮的因素。

　　2.電阻是MEMS的必測(cè)項(xiàng)。電阻式傳感器在MEMS系統(tǒng)中非常常見其阻值的變化可以表征外界信號(hào)的變化。MEMS系統(tǒng)中的電阻范圍較大，因此測(cè)試設(shè)備的電壓電流動(dòng)態(tài)范圍也必須足夠大。

　　測(cè)試方案：

　　TH2851阻抗分析儀+探針臺(tái)

　　測(cè)試參數(shù)：MEMS輸出電容C、MEMS輸出電阻R

　　TH2851系列阻抗分析儀是同惠電子采用當(dāng)前國際先進(jìn)的自動(dòng)平衡電橋原理研制成功的新一代阻抗測(cè)試儀器，為國產(chǎn)阻抗測(cè)試儀器的最新高度。其徹底顛覆了傳統(tǒng)國產(chǎn)儀器復(fù)雜繁瑣的操作界面，基于Windows10操作系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了全電腦化操作界面，讓測(cè)試更智能、更簡(jiǎn)便。

　　TH2851系列阻抗分析儀也徹底超越了國外同類儀器120MHz的頻率瓶頸；解決了國外同類儀器只能分析、無法單獨(dú)測(cè)試的缺陷；中英文操作界面也解決了國外儀器僅有英文界面的尷尬；采用單測(cè)和分析兩種界面，讓測(cè)試更簡(jiǎn)單?？爝_(dá)2.5ms的測(cè)試速度、及高達(dá)40MΩ的阻抗測(cè)試范圍可以滿足元件與材料的測(cè)量要求，特別有利于低損耗(D)電容器和高品質(zhì)因數(shù)(Q)電感器的測(cè)量。四端對(duì)的端口配置方式可有效消除測(cè)試線電磁耦合的影響，將低阻抗測(cè)試能力的下限比常規(guī)五端配置的儀器向下擴(kuò)展了十倍。