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日置IM3536LCR測試儀在半導體器件測試中的解決方案

發布日期:2023-03-01     作者: 安泰測試     瀏覽數:   

  半導體在我們熟悉的集成電路、消費電子、通信系統、光伏發電、照明、汽車電子、大功率電源轉換等領域都有應用,而日置HIOKI的測試儀器如功率分析儀、存儲記錄儀、數據采集儀、電池測試儀、LCR測試儀、阻抗測試儀等也在這些領域擔任著重要的測試任務。

  日置HIOKI在半導體C-V測試上應用

  那么日本日置產品在半導體元器件(或集成電路)測試中的應用有哪些呢?以晶圓級MOSFET為例,晶圓電容-電壓(C-V)特性曲線測試是半導體參數測試中的比較關注的一部分,CV頻率范圍根據不同的器件有1Hz-100Hz、10Hz-10KHz、10KHz-1MHz或者更高頻段,通過上位機軟件在固定頻段下以0.1V或者0.5V的步進掃描電壓測試C值,電壓范圍有-5V~+5V、-10V~+10V、-20V~+20V、-30V~+30V、-40V~+40V或者更高。(支持第三方軟件控制)

日置IM3536LCR測試儀在半導體器件測試中的解決方案(圖1)

  通過C-V測量還可以對其他類型半導體器件和工藝進行特征分析,如:BJT晶體管,二極管與PN結,III-V族化合物,二維材料,金屬材料,光子檢測器件,鈣鈦礦與太陽能電池,LED與薄膜晶體管,非易失性存儲器與材料,MEMS與傳感器,分子與納米器件,半導體器件特性分析與建模,器件噪聲特性分析以及檢測工藝參數和失效分析機制等。

日置IM3536LCR測試儀在半導體器件測試中的解決方案(圖2)

  擴展應用

  半導參數測試中除了CV電容電壓特性曲線測試,還有IV電流電壓特性曲線測試,可以將LCR測試儀IM3536搭配皮安表SM7110以及其他測試儀器進行系統集成。

  日本日置在半導體行業的產品介紹

  低頻阻抗分析儀IM3590

日置IM3536LCR測試儀在半導體器件測試中的解決方案(圖3)

  用于測試器件、材料等

  針對DC以及1mHz~200kHz范圍內的頻率帶寬可設置5位的分辨率(100Hz不到是1mHz分辨率)。能夠進行共振頻率的測量和在接近工作條件的狀態下進行測量、評估。

  測量頻率1kHz,測量速度FAST時,可達zui快2ms。有助于掃頻高速化。

  Z的基本精度是±0.05%。從零部件檢查到研究開發的測量,都能達到推薦精度。

  LCR測試儀IM3536

日置IM3536LCR測試儀在半導體器件測試中的解決方案(圖4)

  直流偏置電壓高達±500V

  測量頻率DC,4Hz~8MHz

  測量時間:zui快1ms

  基本精度:±0.05%rdg.

  mΩ以上的精度保證范圍,也可安心進行低阻測量

  可內部發生DC偏壓測量

  從研發到生產線活躍在各種領域中

  高頻阻抗分析儀IM7587

日置IM3536LCR測試儀在半導體器件測試中的解決方案(圖5)

  可穩定測量高達3GHz的阻抗

  測試電壓測量頻率:1MHz~3GHz

  測量時間:zui快0.5ms(模擬測量時間)

  測量值偏差:0.07%(用3GHz測量線圈1nH時)

  基本精度:±0.65%rdg.

  緊湊主機僅機架一半大小,測試頭尺寸僅手掌大小

  豐富的接觸檢查(DCR測量、Hi-Z篩選、波形判定)

  分析模式下可以邊掃描測量頻率、測量信號電平邊進行測量

       以上就是日置IM3536LCR測試儀在半導體器件測試中的解決方案的相關介紹,如果您有更多疑問或需求可以關注西安安泰測試Agitek哦!非常榮幸為您排憂解難。


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