吉時利 2450 源表在半導體分立器件 I-V 特性測試方案
方案特點
豐富的內置元器件庫(雙端口、三端口、MOSFET、BJT等),可以根據測試要求選擇所需要的待測件類型;
四象限輸出和測量功能,可以在正負電壓、正負電流之間進行無縫切換和掃描;
測試和計算過程由軟件自動執行,能夠顯示數據和曲線,節省了大量的時間;
精準穩定的探針臺,針座分辨率可高達0.7um,顯微鏡放大倍數最高可達x195倍;
高達500fA電流輸出分辨率和10fA測量分辨率,可以滿足半導體器件微小電信號控制和測量要求。
測試功能
雙端口、三端口器件直流參數測量;
I-V,I-T,V-T,I-R,V-R掃描測試;
曲線繪制,原始數據導出,結果保存。
系統結構
系統主要由一臺雙通道源表或兩臺單通道源表(SMU)、連接線或探針臺,及上位機軟件構成。以三端口MOSFET或BJT器件為例,共需要以下設備:兩臺吉時利2450源表、三同軸或香蕉頭連接電纜、夾具或探針臺。
上位機軟件與源表(SMU)的連接方式如下圖所示,可以使用LAN/USB/GPIB中的任何一個接口進行連接。
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