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       概述：
　　某一維線性尺度遠(yuǎn)遠(yuǎn)小于它的其它二維尺度的材料成為薄膜材料，理論上薄膜材料厚度介于單原子到幾毫米，但由于厚度小于100nm的薄膜已經(jīng)被稱為二維材料，因此薄膜材料通常指厚度介于微米至毫米的薄金屬或有機(jī)物層。
　　薄膜材料可以分為非電子薄膜材料和電子薄膜材料，非電子薄膜材料不需要對(duì)其電學(xué)特性進(jìn)行分析，不是本方案針對(duì)的對(duì)象，電子薄膜又可分為導(dǎo)電薄膜，半導(dǎo)體薄膜，介質(zhì)薄膜，電阻薄膜，磁性薄膜，壓電薄膜，光電薄膜，熱電薄膜，超導(dǎo)薄膜等，表面電阻率是電子薄膜電學(xué)性質(zhì)的重要參數(shù)。
　　電子薄膜材料表面電阻率測(cè)試

表面電阻率測(cè)試常用方法是四探針?lè)ㄅc范德堡法，但對(duì)電子薄膜材料，范德堡法很少應(yīng)用。多數(shù)情況下，電子薄膜材料表面電阻率測(cè)試對(duì)測(cè)試儀器的要求沒(méi)有二維材料/石墨烯材料高，用源表加探針臺(tái)即可手動(dòng)或編寫(xiě)軟件自動(dòng)完成測(cè)試。

　　電子薄膜材料電阻率測(cè)試面臨的挑戰(zhàn)
　　電子薄膜種類多，電阻率特性不同
　　需要選擇適合的SMU進(jìn)行測(cè)試
　　被測(cè)樣品形狀復(fù)雜，需選擇適當(dāng)?shù)男拚齾?shù)
　　厚度修正系數(shù)對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響F(W/S)
　　圓片直徑修正系數(shù)對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響
　　溫度修正系數(shù)對(duì)測(cè)試結(jié)果的影響
　　環(huán)境對(duì)測(cè)試結(jié)果有影響
　　利用電流換向測(cè)試消除熱電勢(shì)誤差
　　利用多次平均提高測(cè)試精度
　　需要考慮測(cè)試成本
　　泰克吉時(shí)利電子薄膜材料測(cè)試方案
　　1.通用配置
　　a.2450/2460/2461
　　b.四探針臺(tái)（間距1mm）

c.測(cè)試軟件（第三方）

　　2.高阻電子薄膜材料測(cè)試方案
　　a.6221/2182A+6514*2+DMM6500
　　b.第三方探針臺(tái)

c.手動(dòng)或軟件編程

　　方案優(yōu)勢(shì)
　　1.不同配置滿足不同電子薄膜材料電阻率測(cè)試需求
　　2.高精度SMU,即可手動(dòng)測(cè)試，也可以編程自動(dòng)測(cè)試
　　3.高性價(jià)比
　　安泰測(cè)試作為泰克吉時(shí)利長(zhǎng)期合作伙伴，專業(yè)提供設(shè)備選型和測(cè)試方案，且為西安多家企業(yè)和院校提供吉時(shí)利源表現(xiàn)場(chǎng)演示，并獲得客戶的高度認(rèn)可，如果您想了解更多測(cè)試應(yīng)用方案，歡迎訪問(wèn)安泰測(cè)試網(wǎng)www.nomura-cc.com