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電學測試平臺

設備簡介：

1.納米級探針臺：能夠耦合其他電學測量設備，針對相變存儲器件原型，在加載電學脈沖信號的同時原位測量其電學性能，測試器件的穩定性、存儲速度、使用壽命等參數。

2.任意波形發生器AWG5200：主要用于對各類參數的電學信號進行模擬和顯示，除加載標準的函數波形脈沖，也可以借助軟件編輯和繪制一些特殊的波形脈沖;

3.數字熒光示波器MSO64：主要用于測量和分析各類電學信號，可以在加載電壓、電流或電脈沖的過程中動態觀測并記錄波形信號，分析材料在不同波形下的電學性能;

4.雙通道源表2600-PCT-1B：配置了電流-電壓測量模塊，通過對樣品施加電流同時測量電壓，或者施加電壓同時測量電流來獲得樣品動態的電壓-電流參數。

5.HCP621GP原位加熱冷卻臺設備：由原位加熱冷卻臺主機、mK2000控制器、LN2-P液氮泵、C100W循環水機和液氮罐組成。通過PID精密溫控，能夠在變溫下原位測量薄膜材料的電學性能，并通過電阻值變化判斷材料的相結構。

主要參數：

任意波形發生器AWG5200設備最小脈寬為400ps;

數字熒光示波器MSO64設備的帶寬為1GHz，具有4個通道;

雙通道源表2600-PCT-1B設備的最大電流分辨率為0.1fA，最大電壓分辨率為100nV;

HCP621GP原位加熱冷卻臺設備設備的變溫范圍為-180～600℃，最大變溫速率為130℃/min。

測試項目：

測試器件及材料(含薄膜材料)的穩定性、存儲速度及其他電學性能

范德堡法測量電阻;

溫度-電阻測試;

電阻漂移測試;

I-V測試;

變脈高測試;

變脈寬測試;

循環測試;

樣品要求：

樣品不得具有放射性、毒性和腐蝕性。

測試時間：

1~2周

測試結果類型：

excel表格